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深入分析压力传感器的相关知识

敏感元件是可以灵敏地感触被测变量并作出呼应的元件。如:弹性膜盒能感触压力的凹凸而引起形变,形变的程度就是对压力凹凸的呼应,因而,弹性膜盒是一种压力敏感元件。 
    传感器不但应该对被测量敏感,并且具有把它对被测量的呼应传送出去的功用。也就是说,传感器不只是一般的敏感元件,它的输出呼应还须***是易于传送的物理量。例如:上诉的弹性膜盒的输出呼应是形变,是微小的几何量,不便于向远方传送。如果把膜盒基地的位移转变为电容极板的间隙变化,就成为输出呼应是电容量的压力传感器。  
    因为电信号***便于传送,所以绝大多数传感器的输出是电量的形式,如电压、电流、电阻、电感、电容、频率等。  
    变送器是从传感器开展而来的,凡能输出规范信号的传感器就称为变送器。(规范信号是物理量的形式和数值范围都契合******规范的信号。例如直流4~20mA)有了统一的信号形式和数值范围,就便于把各种变送器和别的外表组成检查系统或调理系统。  
    输出为非规范信号的传感器,须***和特定的外表或装置配套,才能实现检查或调理功用。为了加强通用性和灵活性,某些传感器的输出可以靠变换器把非规范信号变换成规范信号,使之与带有规范信号的输入电路或接口的外表配套。不同的规范信号也可借助于变换器互相变换。例如利用气/电变换器,能把20~100 kPa的空气压力变换成0~10mA的直流电流。  
    位式效果和接连效果:     
    位式效果,也称为开关效果,即传感器在输入变量整个变化范围内其输出相应只要两种状况,例如空气状况的“高”和“低”。 
    位式效果的传感器多用于被测变量的超限报警、连锁保护、顺序控制。例如我们的压力开关。 
    需要接连检查或调理某些变量时,就须***用接连效果的传感器或变送器。 
    长野的变送器中所运用的传感器SS—蒸发型半导体应变片的特色:     
   (1)相对于粘贴式和分散式,蒸发式为新技术。 
   (2)其可测压力范围 -0.1~0.3MPa;0~200MPa 。
   (3)具有很好耐用性和稳定性。
    半导体应变片的制作方法:粘贴方法、蒸发方法、分散方法。  
    长野的变送器,如KM31、KM10 等,其半导体应变片部分、感应元件(不锈钢隔阂)以及压力接口部分经过焊接连接成一体,具有很高的稳定性和可靠性,抗震性和抗冲击性良好。 
     蒸发式半导体应变片的具体制作方法如下:        
   (1)在不锈钢隔阂上运用CVD等离子沉积一层SiO2绝缘膜 
   (2)在SiO2绝缘膜上再沉积一层多晶硅。 
   (3)在多晶硅上运用激光蚀刻,应变片成型 。
   (4)用电子束照射蒸镀,配上金制电极。 
   (5)再运用CVD等离子沉积一层SiNx保护膜。 
 
    依据传感器或变送器的安装场合有无易燃易爆气体及风险程度,选择隔爆型及本安型。     
   (1)隔爆型在内部电路和周围易燃气体之间采取了阻隔措施,允许运用在有必定风险性的环境里 。
   (2)本安型即本质安全型的简称,依靠特殊设计的电路确保在正常工作及故障(意外短路或断路)状况下都不会引起燃爆事端,可用在非常易燃易爆的场合。

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